半導体
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オートメーションシステム ~自動車・機械・半導体業界向け~
- 大規模な工場における
作業工程を自動化します。 - 工場でのさまざまな作業工程を、工作機械などを活用することで自動化していく「ファクトリーオートメーション」。作業ミスの低減、作業効率のアップ、安全性アップにつながる仕組みです。なかでもTMEICが得意とするのは大規模なシステム。豊富な知見をもって、自動車業界や部品業界に最適なシステムを提案してきました。
- 大規模な工場における
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オゾンガス発生装置
- 窒素なしにオゾンを発生する
世界初の技術です。 - 半導体には必ず絶縁膜が必要です。オゾンガスは、その絶縁膜を作る際に欠かせない材料です。TMEICは、絶縁膜の品質低下の原因となる「窒素」を全く使わないでオゾンガスを発生する装置を開発しました。発売した2004年以来、世界中の半導体工場で採用され、高品質な半導体の製造に貢献しています。
- 窒素なしにオゾンを発生する
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ミスト成膜装置(TMmist)
- 真空設備不要の「常圧、低温」の成膜で、製品へのダメージ無く、装置コストと製造コストを削減。
- 人間が発する微かな電気に反応して動作するタッチパネルには、電気を通す透明な膜があります。これを作るのが「ミスト成膜装置(TMmist)」です。TMEIC製成膜装置は一般的な製法とは異なり「真空ではない環境下」で「プラズマなし」に生膜可能。真空設備がいらない分コストを抑えられ、プラズマを照射しない分、製品にダメージを与えません。
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二流体加湿器 (TMfog)
- TMfogは蒸気に代わる次世代の二流体加湿器です。
- 燃料高騰により蒸気コストの削減が急務。TMfogは、二流体ノズルで発生させた微細な霧を空気中に噴霧して加湿する二流体加湿器です。燃料を使用する蒸気と異なり、水と圧縮空気だけで加湿する事で、環境負荷とランニングコストの低減に貢献します。